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wenzhang:1405:bail

基底复制技术研究

白亮; 张朝民; 朱鹏飞; 周有余
( 上海工程技术大学基础教学学院 )

  摘 要: 研究了基于Au和Ag两种分离材料,环氧复制和电镀Ni后再环氧复制的基底复制技术.采用直流磁控溅射技术在不同工艺的复制基底上镀制Mo/Si多层膜反射镜,利用反射率计测量其反射率.测量结果表明:电镀Ni后再环氧复制的Au基底反射率最高.
  关键词: 基底复制; 多层膜; 磁控溅射; 反射率
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wenzhang/1405/bail.txt · 最后更改: 2016/04/15 20:42 由 guoweilw