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wenzhang:1411:dongjj

氢等离子体处理对ZnO光电性质的影响

董敬敬; 杨坤; 付康宁
( 中国地质大学(北京)数理学院; 中国地质大学(北京)地球物理与信息技术学院 )

  摘 要: 借助于霍尔效应、拉曼散射、光致发光及电致发光测试技术,研究了氢等离子体处理以及随后的高温退火过程对ZnO薄膜及ZnO纳米棒光学及电学性质的影响.实验结果表明:氢在ZnO薄膜中不仅充当浅施主,而且还可以钝化晶界处缺陷相关的非辐射复合中心,从而使得载流子浓度及迁移率增大,近带边紫外发光增强.然而,钝化晶界的氢热稳定性较差,500℃时已经完全扩散出ZnO薄膜,因此,500℃退火后载流子迁移率及近带边紫外发光强度迅速减弱.
  关键词: ZnO; 氢等离子体; 光电性质
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wenzhang/1411/dongjj.txt · 最后更改: 2016/04/13 19:19 由 guoweilw