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wenzhang:1504:wuc

残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响

吴聪; 刘晓洋; 张家良;
( 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室; )

  摘 要: 使用QMS-200残余气体质谱分析仪,分别以空气、空气/氩气混合气体为样品,研究了质谱仪的进样输运效应.利用空气/氩气混合气体作为标准样品,进行了质谱峰强对浓度的标定,获得了分析仪对残余空气定量分析的标定关系.研究发现:由于输运过程,注入样品由于不同成分的输运速率、排空速率不同,样品不同成分在质谱仪内的量与其原始物质的量有所不同.
  关键词: 残余气体分析仪; 输运效应; 质谱峰强;
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wenzhang/1504/wuc.txt · 最后更改: 2016/02/23 11:27 由 guoweilw