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wenzhang:1511:yangrf

超声强化FeCl3溶液蚀刻覆铜板的研究

杨日福; 张凡;
( 华南理工大学物理与光电学院 )

  摘 要: 为了提高FeCl3溶液蚀刻覆铜板制作印制电路板的效率,采用超声强化FeCl3溶液蚀刻覆铜板,研究了蚀刻时间、蚀刻液浓度、温度、超声电功率和超声频率对覆铜板蚀刻速率的影响,并且与静态蚀刻对比.结果表明:超声强化FeCl3溶液蚀刻覆铜板的蚀刻速率随蚀刻时间的延长持续下降,蚀刻速率下降逐渐减缓;10min内的平均蚀刻速率随浓度的提高而增大,随蚀刻液温度的升高而增大,随超声电功率的增加先增加后减少(在超声电功率为80 W时达到最大),随超声频率的增加有降低的趋势.超声强化蚀刻和静态蚀刻的对比结果可以说明:超声波在FeCl3溶液蚀刻覆铜板中可以起到良好的强化作用.
  关键词: 超声; FeCl3溶液; 蚀刻; 覆铜板; 蚀刻速率;
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wenzhang/1511/yangrf.txt · 最后更改: 2016/02/22 22:03 由 guoweilw