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wenzhang:2009:yyq

基于斜入射光反射差技术检测微倾角

杨义勤,秦凡凯,孟昭晖,杨颀,李超,苗昕扬,赵昆,詹洪磊
(中国石油大学(北京) 新能源与材料学院 中国石油和化工联合会油气太赫兹波谱与光电检测重点实验室,北京 102249)

  摘 要: 利用斜入射光反射差技术对表面光滑、上下面存在倾角为0.23°的20号钢样品表面进行扫描成像. 成像结果显示:位置对斜入射光反射差信号产生明显影响,在扫描的0.3 mm×0.3 mm范围内,2条对角线上的信号变化率分别为81.5%与33.3%. 对于上下面存在微倾角的柱状样本,不同位置存在微小厚度差,使得光程发生变化,反射率及反射光相位发生改变,从而改变倍频信号的强度. 因此,斜入射光反射差技术可检测材料表面的微倾角.
  关键词: 微倾角;斜入射光反射差技术;相位差;光程差

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wenzhang/2009/yyq.txt · 最后更改: 2020/10/19 21:51 由 guoweilw