基于斜入射光反射差技术检测微倾角

杨义勤，秦凡凯，孟昭晖，杨颀，李超，苗昕扬，赵昆，詹洪磊
（中国石油大学(北京) 新能源与材料学院 中国石油和化工联合会油气太赫兹波谱与光电检测重点实验室，北京 102249）

　　摘　要： 利用斜入射光反射差技术对表面光滑、上下面存在倾角为0.23°的20号钢样品表面进行扫描成像. 成像结果显示：位置对斜入射光反射差信号产生明显影响，在扫描的0.3 mm×0.3 mm范围内，2条对角线上的信号变化率分别为81.5%与33.3%. 对于上下面存在微倾角的柱状样本，不同位置存在微小厚度差，使得光程发生变化，反射率及反射光相位发生改变，从而改变倍频信号的强度. 因此，斜入射光反射差技术可检测材料表面的微倾角.
　　关键词： 微倾角；斜入射光反射差技术；相位差；光程差

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